等级是一百级,也就是说,一立方米的空气中漂浮的尘埃微粒在一百粒以下……防震的要求更高,光刻机工作环境的震动幅度不得超过正负两微米……”
大家伙都穿上了实验专用的工作服和鞋子,经过了强力风道的清洗,这才走了进来,只可惜,台子上的那台光刻机,已经不在了。
为了参加高卢的工业展,他们把这台光刻机给打包送出去了,其实,他们当时就不情愿,这光刻机可是他们的命根子,这样拆开了再长途运输,很容易损坏……可是,上级的要求又必须得答应。
这些要求,都是必须的。
后世的电子厂,洁净度必须得足够高,否则灰尘落到芯片上,芯片就成废品了,终于震动……想要雕刻八微米精度的细线,那震动必须得在两微米以下,就算是这样,万一晃一下,刻蚀的线路也会出现很大的误差。
“嗯,等以后我们盖起来生产厂房,也得维持这种洁净度。”秦富点头:“咱们这种光刻机技术处于世界领先状态,现在唯一欠缺的就是投产。”
光刻机这东西,都是手搓出来的,没法批量化生产,毕竟,这东西需求量小啊,就拿后世的光刻机巨头阿斯麦来说,一年就生产那么几百台,至于最先进的euv光刻机,也就三四十台而已。
东方有光刻机技术,欠缺的就是投产,就是实用化!咱们造出来,国外就会放开限制卖给咱们,然后国内一群不争气的企业,跟着就一窝蜂的跑去买……
“是啊,说起光刻机来,咱们其实不落后,早在1966年……”
徐教授对这段历史最熟悉。
全球第一台光刻机是1961年,鹰国gca公司造出来的,属于接触式光刻机,1966年,中科院109厂和魔都光学仪器厂就合作,研制出来了国内第一台65型接触式光刻机,到了1971年,华清大学精密仪器系跟着打造出来了半自动光刻机,然后是接近式,现在是分步投影式……
要说这个方面的技术,东方还真不落后,尤其是到了现在,已经达到了世界领先水平,可惜,机器不在,只能看看这实验室了。
“等机器回来……”徐教授继续介绍,就在这时,电话铃响了。
实验室进来得穿戴一番然后清洗,非常复杂,所以,普通的事情,就不用出去了,用电话联系就行。
徐教授走到电话机跟前:“喂,什么?要把我们华清大学的光刻机免费送给西方人?”
秦富也是脸色一变,跟着走到了电话机跟前:“喂,我是沙某人工业大臣,告诉他们,华清大学的光刻